"Nur Sturheit hat uns so weit gebracht"

13. November 2001, 18:47
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Die Wiener Hightech-Schmiede IMS will den Durchbruch auf dem Weltmarkt schaffen

Wien - Das Herz des Unternehmens schlägt in einem Kellerraum im zweiten Wiener Gemeindebezirk, besteht großteils aus Aluminium, ist vier Meter lang, rund drei Meter breit und fast ebenso hoch.

15 Jahre Entwicklung sind hineingeflossen in dieses Ding, das, wenn es einmal in Serienfertigung gehen sollte, auf ein Viertel seines bisherigen Volumens schrumpfen wird. Dass das bisher nur als Prototyp vorliegende Gerät einmal in Serie produziert werden wird, steht für Max Bayerl, Geschäftsführer der Wiener Hightech-Schmiede Ionen Mikrofabrikations GmbH - kurz IMS - außer Frage. "Konkurrenten in den USA und in Japan versuchen schon seit längerem, uns kaltzustellen. Das ist ihnen bisher nicht gelungen und das wird ihnen auch in Zukunft nicht gelingen", sagte Bayerl im Gespräch mit dem STANDARD.

Weltstandard

IMS hat eine Eigenangaben zufolge "revolutionäre Technologie" entwickelt, die es erlaubt, wesentlich kostengünstiger als bisher Mikroelektronikbauteile herzustellen. "Nur mit Sturheit sind wir so weit gekommen", sagte Bayerl. Nun bestehe die Chance, mit einer in Österreich entwickelten Technologie einen Weltstandard zu setzen.

Mit der Ionen-Projektions-Lithographie könne man in Bereiche vordringen, die bisher unvorstellbar waren. Bayerl: "Wir haben es hier mit Nanometern zu tun, also Millionstelmillimeter." Auch lasse sich noch wesentlich mehr auf den Chip draufpacken, als bisher möglich war. Der weiteren Miniaturisierung der Chip-Produktion seien damit kaum mehr Grenzen gesetzt.

Glaubwürdigkeit

Mit seiner Ionen-Projektions-Lithographie liefert sich die Wiener Hightech-Schmiede ein Rennen mit konkurrierenden Technologien, auf die vor allem Unternehmen in den USA und in Japan setzen. Dazu gehört die so genannte EUV-Lithographie, die mit extremem UV-Licht arbeitet. Sie wird von der Industrie in den USA favorisiert, darunter dem Chiphersteller Intel.

Die Elektronenstrahl-Projektionslithographie als weitere Innovation bei der Herstellung noch kleinerer Mikroelektronikbauteile wird hauptsächlich von der japanischen Firma Nikon vorangetrieben. "Keine dieser Technologien ist noch wirklich ausgereift", sagte Bayerl. "Wenn uns ein Durchbruch bei der Herstellung der Ionen gelingt, haben wir es geschafft. Unser Problem ist, dass man Firmen wie Intel mehr zutraut, den Durchbruch zu schaffen, als einem kleinen Unternehmen wie IMS." Die Wiener Hightech-Schmiede arbeitet stark mit der Siemens-Halbleitertochter Infineon zusammen. ASM Lithography, ein ehemaligen Tochterunternehmen von Philips und weltgrößter Hersteller von Litographiegeräten, hat 100 Millionen Schilling vorgestreckt für die Option auf eine Lizenz. Nun will sich Bayerl bemühen, weitere Partner in das Boot zu holen, um die Technologie dann bestmöglich vermarkten zu können.

"Sind dicht dran"

Der IMS-Chef ist überzeugt, den Durchbruch bei der Ionenherstellung noch vor dem kommenden Sommer zu schaffen. Bayerl: "Wir sind dicht dran. Dass die Technologie funktioniert, haben wir bereits bewiesen. Jetzt geht es nur noch darum, die Wirtschaftlichkeit des Gerätes zu schaffen." Die neuesten am Markt befindlichen Geräte, die auf lichtoptischer Lithographie basieren, kosten rund 180 Millionen Schilling. "Auch unser Gerät wollen wir zu einem Preis von weniger als 200 Millionen Schilling auf den Markt bringen." Die im Rennen befindlichen alternativen Technologien seien rund doppelt so teuer.

Rund 800 Millionen Schilling hat das Wiener Unternehmen bisher in das Projekt investiert. Das Geld stammte zu etwa einem Drittel von den Eigentümern, darunter Siemens und der Badener Rechtsanwalt Rudolf Fries, der auch bei Edelstahlerzeuger Böhler-Uddeholm engagiert ist. Ein Drittel stammt von Lizenzvorauszahlungen, ein weiteres Drittel ist durch Förderungen ins Unternehmen gekommen. "Das ganze Geld haben wir in die Technologie investiert, in das Gebäude haben wir fast nichts gesteckt", sagte Bayerl beim Rundgang durch das unscheinbare Haus.

Stammmannschaft

Zur Stammmannschaft zählen rund 40 Mitarbeiter, die großteils in weißen Kitteln ihrer Arbeit nachgehen. Haarnetz und Schuhschutz sollen die Staubentwicklung minimieren. Darüber hinaus arbeitet man mit 50, 60 Leuten an Universitäten und Forschungsinstituten zusammen.

Stolz ist Bayerl, "dass es uns gelungen ist, 340 Millionen Schilling an Devisen einzunehmen, obwohl wir noch gar kein Produkt haben." (Günther Strobl, DER STANDARD, Printausgabe 14.11.2001)

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