Konferenz zum Thema Nanoimprint

2. Dezember 2004, 14:53
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Kritik an zu später und zu geringer Förderung der Nanotechnologie in Österreich

Wien - Um Strukturen im Nano-Bereich, also bis zu 60.000 mal dünner als ein Haar, herzustellen, bedarf es üblicherweise sehr aufwendiger, teurer optischer lithographischer Verfahren. Eine neue Technik verspricht eine zuverlässige und kostengünstige Alternative dazu zu sein: das so genannte Nanoimprint-Verfahren. Dabei werden die herzustellenden Strukturen nicht belichtet, sondern mit einem Quarzstempel in einen speziellen, verformbaren Lack gedrückt, der dann noch thermisch oder optisch entwickelt werden muss. Von Mittwoch bis Freitag findet in Wien die 3. Internationale Konferenz für Nanoimprint und Nanoprint Technologien (NNT) statt, zu der mehr als 200 Teilnehmer erwartet werden.

Verfahren

Mit Hilfe optischer Lithographie-Verfahren lassen sich derzeit Strukturen bis zu einer Größe von rund 50 Nanometer (ein Nanometer ist der millionste Teil eines Millimeters) herstellen. Belichtet man mit kurzwelligerem UV-Licht, kommt man möglicherweise auf bis zu 20 Nanometer herunter. Diese Verfahren haben aber den Nachteil, sehr langsam und sehr teuer zu sein, erklärte der Leiter der NNT-Konferenz, der aus Österreich stammende Chef des Instituts für Halbleitertechnik der Universität Aachen, Heinrich Kurz, am Mittwoch bei einem Pressegespräch.

Für die Herstellung der Stempel kann man dagegen Elektronenstrahlen verwenden, mit denen sich extrem kleine Strukturen belichten lassen. Mit Hilfe dieser Stempel lassen sich dann zuverlässig, rasch und kostengünstig große Stückzahlen produzieren. "Während sich die optischen Lithographie-Verfahren auf Grund der hohen Kosten für die mittelständische Industrie nicht eignen, bietet Nanoimprinting für österreichische Unternehmen eine Riesenchance, im Bereich Nanotechnologie mitzumachen", sagte Kurz. Dies ist auch der Grund, warum die Wirtschaftskammer Österreich die Konferenz unterstützt.

Kritik an Förderungssituation

Heinrich Kurz kritisierte, dass in Österreich der Bereich Nanotechnologie "zu spät und zu gering gefördert wurde", etwa im Vergleich zu den skandinavischen Staaten oder der Schweiz. Weltweit werde dieser Bereich als Zukunftstechnologie angesehen, dessen wirtschaftliche Bedeutung sich in den schnell wachsenden Fördervolumina niederschlage. So investiere die EU rund 1 Mrd. Euro in die Nanotechnologie. Im Rahmen der österreichischen "Nanoinitiative" werden derzeit fünf Verbundprojekte mit elf Mio. Euro gefördert. (APA)

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