Vielfältige Verfahren

1. Juni 2003, 20:45
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Der Mikrosystemtechnik (MST) wird für die kommenden Jahrzehnte eine große Zukunft vorhergesagt. Durch die rasche Miniaturisierung der Technik und die Integration sowohl wahrnehmender als auch handelnder Funktionen (Sensorik bzw. Aktuatorik) sollen Geräte möglich gemacht werden, die ohne Mikrosystemtechnik sehr komplexe Apparaturen wären. Zum Beispiel: Röntgen am Unfallort durch Miniscanner.

Zu Beginn der Mikrosystemtechnik hat man darunter die Integration von einem Sensor (z. B. für Temperatur, Druck), einem Aktuator (z. B. Schalter) zusammen mit der Auswerteelektronik auf einem Chip verstanden. Heute macht die Vielfalt der Verfahren in der Mikrosystemtechnik eine Definition notwendig, wie sie etwa das "Network of Excellence in Multifunctional Microsystems" (Nexus) vorschlägt: "Mikrostrukturprodukte besitzen Strukturen im Bereich einzelner Mikrometer und erhalten ihre technische Funktion durch die Gestaltung dieser Struktur. Mikrosysteme kombinieren mehrere Mikrokomponenten mit zwei oder mehr Funktionen zu einem optimierten System - in vielen Fällen einschließlich Mikroelektronik."(DER STANDARD, Print-Ausgabe, 2.6. 2003)

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